با تلاش محققان؛

دستگاه لایه‌نشانی اتمی برای تولید حافظه و مدار عرضه شد

شرکت هلندی ای‌اس‌ام اینترنشنال دستگاه لایه‌نشانی اتمی جدیدی به بازار عرضه کرده که می‌توان از آن برای ساخت حافظه و مدار‌های الکترونیکی استفاده کرد.

کد خبر: ۶۹۸۲۷۰

شنبه - ۳۰ تير ۱۳۹۷ / July 21, 2018

به گزارش گروه دانشگاه خبرگزاری دانشجو، ای‌اس‌ام اینترنشنال (ASM International) اعلام کرد که دستگاه لایه‌نشانی اتمی (ALD) این شرکت موسوم به Synergis® برای تولید حافظه و مدار مورد استفاده قرار گرفته است. در طول یک دهه‌ گذشته ای‌اس‌ام اینترنشنال به‌دنبال بهینه‌سازی این فناوری بوده تا بتواند از آن برای تولید انبوه محصولات استفاده کند.

تقاضا برای دستگاه‌های لایه نشانی اتمی رو به افزایش است و این فناوری موجب شده تا بتوان از مواد و طراحی‌های جدید برای تولید تراشه استفاده کرد. یکی از دلایل این افزایش، امکان کنترل دقیق محیط راکتور است که اجازه می‌دهد مواد اولیه با فشار بخار پایین و کارایی بالا وارد محیط شوند. در نتیجه دستگاه لایه‌نشانی ای‌اس‌ام اینترنشنال ابزاری مناسب برای تولید ساختار‌های یکنواخت روی ویفر است.

هیچم مسعد از مدیران ای‌اس‌ام اینترنشنال می‌گوید: «برخی از مشتریان ما می‌خواهند در تولید فیلم‌ها از شرایط موجود جلوتر رفته و برای این کار از سامانه‌ لایه‌نشانی اتمی ما استفاده می‌کنند که با قیمت کم نیاز آن‌ها را برآورده می‌سازد. Synergis® به کاربر اجازه می‌دهد تا فیلم‌های جدیدی برای تولید حافظه و مدار داشته باشند. همچنین این فناوری امکان ایجاد چند لایه روی هم را فراهم کرده و می‌توان با کمک آن خواص فیلم‌ها را نیز تنظیم کرد. ما از وجود این فرصت‌ها و راهکار‌ها برای تقویت رابطه با مشتریان خود استفاده می‌کنیم.»

در این دستگاه لایه‌نشانی شرکت ای‌اس‌ام اینترنشنال از سامانه‌های EmerALD® XP و Pulsar® XP systems استفاده می‌شود. Pulsar ابزاری برای ایجاد مواد با ثابت دی‌الکتریک بالا است، در حالی که EmerALD به کاربر اجازه می‌دهد تا لایه‌های نازک از جنس کاربید/نیترید فلزی و ترکیبات فلزی مختلف روی سطح ایجاد نمود. در واقع با این فناوری می‌توان هم لایه‌های بسیار نازک و هم لایه‌های نسبتاً ضخیم ایجاد کرد. از Synergis® می‌توان برای تولید چهار دسته فیلم مختلف استفاده کرد اکسید‌های فلزی، نیترید‌های فلزی، فلزات خالص و ترکیبات دی‌الکتریک.

ای‌اس‌ام اینترنشنال یک شرکت هلندی است که دفتر مرکزی آن در آلمره واقع شده‌است.