تورعلمی-22
به گزارش خبرنگار علمی «خبرگزاری دانشجو» سامانه های لایه نشانی اسپاترینگ که با عنوان دستگاه کند و پاش شناخته می‌شوند، یکی از روش‌های لایه نشانی از فاز بخار است که بطور عمده برای تولید فیلم فلزات از نانو تا میکرو استفاده می‌شود و تحت شرایط کنترل شده می‌توان نانو ذراتی 3 نانومتری هم به این شیوه بدست آورد. فرایند اسپاترینگ عبارتست از کندوپاش اتم‌های یا مولکول‌های هدف و ایجاد یک فیلم با یون‌های یک گاز خنثی که در پلاسما ایجاد شده و درمیدان ایجاد کننده پلاسما شتاب می‌گیرند.
دستگاه اسپاترینگ برای ایحاد لایه‌های نانومتری در ابعاد نانومتری استفاده می‌شود و در بسیاری از حوزه‌های صنعتی کاربرد دارد. برای ساخت عدسی شیشه‌های آنتی رفلکس عینک‌ها از این دستگاه استفاده می‌شود به این صورت که فلز مورد نظر این نوع عینک‌ها در ابعاد نانو متری بر روی عدسی عینک با استفاده از این دستگاه اعمال می‌شود. اعمال این لایه بر روی عدسی به گونه‌ای است که فرد فلز را نمی‌بیند ولی خواص آنتی رفلکسی به شیشه عینک داده می‌شود.
این دستگاه همچنین در صنعت خودروسازی کاربرد دارد. داخل کاسه چراغ‌های خودرو براق است که برای این امر از این دستگاه استفاده می‌شود به این ترتیب که کاسه‌های چراغ خودرو در اتاق خلاء این دستگاه گذاشته و آلومینیوم تحت خلاء بخار می‌شود و بر روی تمام سطوح این کاسه در ابعاد نانو متری لایه نشانی خواهد شد.
علاوه بر این دستگاه اسپاترینگ تولید شده در کشور، در مهندسی سطح برای افزایش مقاومت سطحی و خوردگی سطوح کاربرد دارد از این رو برای تولید قطعات میکروالکترونیک مانند IC و ترانزیستور یکی از دستگاه‌های خط تولید دستگاه لایه نشانی است و یکی از برنامه‌های بلند مدت این محققان تولید IC و ترانزیستور است.
این دستگاه در دو نوع رومیزی و ایستاده تولید شده است و قادر است لایه‌های نانو متری را به روش اسپاترینگ (کند و پاش) اقدام به لایه نشانی فلزهایی چون طلا، نقره، پلاتین، مس و آلومینیوم در ابعاد یک نانومتر به صورت کنترل اتو ماتیک و یا دستی کند.
دستگاه اسپاترینگ جزو اقلام تحریمی است که در این پروژه تحقیقاتی ایران به دانش فنی تولید آن دست یافت به گونه‌ای که تولید آن بر اساس نیاز دستگاه‌های پژوهشی و دانشگاه‌ها است.
درحال حاضر این دستگاه در برخی از دانشگاه‌ها و مراکز پژوهشی کاربردی شده است.
ارسال نظرات