دستگاه لایه‌نشانی اتمی مجهز به پلاسما به بازار عرضه می‌شود

به گزارش گروه فناوری خبرگزاری دانشجو، پیکوسان (Picosun) یکی از شرکت‌های پیشرو در عرضه محصولات لایه‌نشانی اعلام کرد که نتایج جالبی از نسل جدید تجهیزات لایه‌نشانی اتمی خود موسوم به PEALD را به‌دست آورده است.

 

این دستگاه، لایه‌نشانی در دما‌های پایین را با استفاده از چندین ماده مختلف انجام می‌دهد کاری که با فرآیند‌های حرارتی به تنهایی قابل انجام نیست. مشکل PEALD این است که به سطح نمونه آسیب می‌زند که این ناشی از بمباران یونی است. شرکت پیکوسان برای حل این مشکل از پلاسما استفاده کرده است جایی که منبع پلاسما به حدی دور از نمونه قرار می‌گیرد که به سطح آسیب نمی‌زند. در این روش به جای یون پرانرژی از گونه‌های فعال استفاده می‌کند که به سطح برخورد می‌کنند.

جانی کیویوجا از مدیران شرکت پیکوسان می‌گوید: «فلسفه عملیاتی پیکوسان مبتنی بر پیشرفت و توسعه مداوم است. چرا که ما می‌خواهیم مشتری، همیشه بهترین راه‌حل‌ها را با ALD داشته باشد و محصولی با کیفیت بالا به‌دست آورد. تجهیزات پلاسمای پیکوسان از زمان راه‌اندازی تاکنون یک محصول مهمی بوده و اکنون ما آن را به یک سطح کاملا جدید ارتقاء داده‌ایم تا کیفیت و خلوص محصول افزایش یابد.»

پیکوسان ارائه‌دهنده نسل جدیدی از PEALD بوده که مبتنی بر پلاسمای ماکروویو با قدرت بالا است. ژنراتور پلاسمای کم وزن پیکوسان می‌تواند با راکتور‌های ALD این شرکت ترکیب شود و در نهایت ابزاری به‌دست آید که با کمترین آلودگی قادر به لایه‌نشانی فیلم‌های با کیفیت بالا است.

این شرکت برای حوزه‌های مختلف تجهیزات و فناوری مورد نیاز را ارائه می‌دهد. چندی پیش شرکت پیکوسان فناوری جدیدی ارائه کرده که با استفاده از آن می‌توان نانولمینت روی ایمپلنت‌های پزشکی ایجاد کرد تا طول عمر این ایمپلنت‌ها در بدن افزایش یابد. این ادوات بسیار کوچک، دوام بسیار زیادی در بدن دارند و از چند ماه تا چند سال در بدن فعال هستند. با توجه به محیط خورنده بدن انسان برای قطعات الکترونیکی، لازم است این قطعات حساس درون پوسته‌ای کپسوله شوند تا عمر بالاتری داشته باشند. همچنین این قطعات الکترونیکی نباید در بدن التهاب ایجاد کنند تا وجود ایمپلنت از سوی سیستم ایمنی بدن تحمل شود.