همچنین این سیستم از نوع خوانش همزمان چند عنصری می باشد که سبب افزایش سرعت در آنالیز نمونه ها می شود. در این روش نمونه به صورت پودر بسیار ریز به کمک گاز آرگون به داخل پلاسمای داغ (نزدیک به 10000 درجه کلوین) هدایت میشود.
پس از تبخیر، تحت تاثیر انرژی الکترون و یون های محیط به اتم های تشکیل دهنده خود تبدیل و در نهایت در محیط بسیار گرم پلاسما برانگیخته شده و ایجاد نشر می کنند. پرتوهای نور ساطع شده از عناصر به آشکارساز می رسند تا شدت آن اندازه گیری شود. بدین ترتیب امکان تشخیص و اندازه گیری غلظت عنصر مورد نظر توسط دستگاه فراهم می شود.
محدوده کاربردی ICP-OES عبارتند از، اندازه گیری عناصر در نمونه های مربوط به رشته های مختلف مهندسی، علوم پایه، کشاورزی، پزشکی، بیوتکنولوژی و سایر رشتهها است.